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第94章 光刻机比想象的容易


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功,摊平形状完美,激发效果完美!”

“增加释放频率。”

“每秒50次试验成功。”

“每秒500次试验成功!”

“每秒5150次试验成功!追平最高纪录。”操作员声音微颤的道。

“继续增加!往上加高一点!”

蒲伟才也开始激动了,这才第一次进行调试而已,居然就追平了上一套零件不断调试数百次创造的最高纪录?

“每秒5500次试验成功,创造新的纪录!”

“再加!”

每秒7000

每秒9000

每秒1万

……

一直加到每秒2万,满足使用频率要求。

所有人都被震惊到麻木,依然是取得成功! br />

“再加,再往上加!”

每秒3万

每秒4万

每秒4万5 br />

每秒5万!

“锡滴释放频率达到上限,特么还是取得成功!”操作员毫无形象的狂喊。

“转化光强是额定光强的2.5倍!”

向广林眼睛通红的大吼:“这意味着这台光刻机处理晶元的效率,至少艾思迈EUV的两倍以上,我们一台,能顶他们两台!”

“你们别叫!”

蒲伟才高高挥起了手,目光盯着持续时间后的数据,极力压制情绪的说道:“看看每秒5万滴锡滴,每秒10万次击打的情况下,这个系统能稳定工作多长时间?你们别吵,你们的噪音,可能影响到它的发挥。”

所有人都安静了下来。

屏住了呼吸。

目光都死死盯上了持续时间。

5分钟

15分钟

第29分38秒

由于累积误差越来越大,没有纠偏系统进行纠正,整个系统终于自动停止了运行。

啪!

蒲伟才右拳用力轰击自己左掌,满脸涨红的说道:“3分钟就足够了,只要3分钟,就不用配套设计非常复杂的纠偏系统了,没想到它坚持了足足半个小时!我们只需设计一套非常简单的纠偏系统,就能让它长期稳定的工作了,整个系统的复杂度至少降低10%,为我们省下大量的时间!”

“太厉害了,太神奇了!”

作为项目负责人,他自己也大呼小叫:“光源问题彻底解决了,双工台现成就有,镜头完全能用,我们的EUV光刻机,完成度至少超过90%!”

“我们完全看到胜利的希望了!”

说着,他泪如坝崩,几欲捧面大哭一场。

坚持十几年了!这一次,他是真的看到希望了,就在他的面前,已然触手可及。

见他如此,跟他一个团队的其他成员,也都擦着眼角,发出呜呜的声音。

“还没真成功呢,眼泪不如留到庆功宴。”

一个略有些扫兴的声音传来。

却听卫明说道:“蒲博士,刚才你还一脸抗拒的样子,怀疑我打磨过的东西不能用,现在呢?信我说的话了吧,零件问题,对我公司不是个问题,你说的技术难点,感觉也不怎么难。”

“没错没错。”

蒲伟才连忙擦泪,露出一张童真笑脸:“卫总你说的没错,只要卫总出马,光刻机,没有任何什么难点,我相信在卫总的带领下,我们能解决一切技术问题!”

他这次是真心服了,眼里只有崇拜。

“没错,完全多亏了卫总。”

“卫总辛苦了,给卫总捶捶肩。”

“卫总的神级打磨,能创造工业上的奇迹!”

“卫总才是最大的功臣,感谢卫总。”

又一波马屁声覆盖而来。

这一次,蒲伟才不仅没有咳嗽制止,反而是里面拍的最厉害的那个。

当然,马屁听一小会就够,卫明让他们马上投入到工作中,继续寻找问题,解决问题,直到没有任何问题为止。


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